微量污染也會導致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機物和無機物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導；堿金屬如鈉等，引起嚴重漏電；顆粒污染包括硅渣、塵埃、細菌、微生物、有機膠體纖維等，會導致各種缺陷。

1、主要零部件均采用世界名牌産品，經(jīng)CAD設計，技術先進，性能可靠、産水性能優(yōu)良。

2、前置預處理保護裝置，確保高壓泵及反滲透膜不受硬物損壞。

3、脫鹽率高，運行壓力低的卷式復合膜提高了系統(tǒng)效率，并除低了運行成本。

4、産品濃縮水各設有流量計，以監(jiān)視并調(diào)節(jié)運行出水量及系統(tǒng)回收率。

5、在線電導儀表連續(xù)監(jiān)測産品水質(zhì)，帶有設定值和報警。

6、進水及排水系統(tǒng)壓力表監(jiān)測反滲透壓差，提示清洗時間，全面的系統(tǒng)監(jiān)視，自動的儀表顯示。

7、靈敏的高壓、低壓開關;防止在異常狀況下對設備的損壞，確保系統(tǒng)的正常運轉(zhuǎn)。

8、硅材料清洗用超純水處理設備采用先進的膜保護系統(tǒng)定時沖洗膜表面，降低污染速度，延長膜使用壽命。